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首页 / ダイボンダー / 产品详情-三工位粘片机
三工位粘片机
  • 12インチ以下のウェーハや特殊形状のウェーハを加工します。
  • 自動ラミネートのプロセスが実現され、結果を表示します。
  • 温度、圧力、真空の変化をリアルタイムで監視します。
  • 升级蜡仓具备抗凝蜡功能
  • 温控采用双温区独立控制温度
  • 最高工艺温度可达200℃，气囊采用耐高温材料
  • 气囊式软性加压，保护晶圆、无气泡粘片
  • 多工位同时独立工作，提高粘片效率
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