GNAD-P
  • 加工精度高,TTV≤2 um,RA:≤0.1 nm。
  • 适用6寸以下及各类异形晶圆加工。
  • 配备清洗槽体及冲洗装置,实现磨抛冲洗一体化。
  • 夹具压力精度达到2g/cm²,可订制加压模块。
  • オプションのBluetoothモニタリングとザイオン修理ディスク機能が付きます。
  • 可编辑可存储至少100条工艺程序。
  • 具备盘温监控、自动冷却等温度控制功能 。

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