晶圆清洗机
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インテリジェントなプロセス制御システムは、PLC + PC制御、手動および自動切り替えを統合し、ブラシ付きウェーハの品質を記録します。
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機械検査では、ウェーハの全経路を観察します。
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ウェーハとカセットの正しい位置の検出と警報システムを装備します。
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采用二流体清洗技术实现纳米级别二流体清洗结构，可根据工艺需求调整DIW以及N₂流量
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强大的数据存储功能，机台LOG信息可存储并保留6个月，工艺recip可编辑存储至少100条
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干湿分离，采用旋干与灯照烘干复合方式干燥晶圆的复合干燥系统
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连续传送一千片无故障，加工破片率小于五千分之一
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机台任何一个零件都需要方便拆卸 ，以便后期维护
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