纯化学抛光设备开创红外探测器原子级加工先河

在红外探测器制造领域,纯化学抛光机正重塑高精度光学元件的制造范式。


面对碲镉汞、锑化铟等脆性红外材料的原子级加工需求,纯化学抛光通过精准控制腐蚀液配比与反应动力学,在无机械应力条件下实现0.05nm表面粗糙度的突破。


従来の研削および研磨機と比較により、この技術は硫化鉛格子構造の保護効率を3倍向上させることと8-14μmの長波赤外線ウィンドウ透過率が95%の制限を突破するようにしています。 タンタル酸リチウムウェーハ処理では、その選択的腐食プロセスは、同時に表面下の損傷層を排除し、焦電応答率を40%増加させ、UAV赤外線監視システム用のゼロ暗電流基板を提供します。


针对智能手机红外传感器的超薄化趋势,设备搭载的微区流量控制系统实现30μm级微型探测器阵列的批量加工,使VCSEL器件光损耗降低至0.2dB。这项革新推动夜视仪信噪比突破2000:1,在红外制导系统领域树立了化学抛光的黄金标准。


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